반도체, FPD, Film, Coating박막의 두께를 간편하게 측정할 수 있는 mapping motor stage기반 분광 반사 계측기(Reflectometer) 입니다. 작성된 다중지점 mapping recipe를 불러와서 박막 두께, 반사도, 투과 도를 측정 할 수 있으며, 더욱 정밀한 측정을 위하여 카메라 이미지를 보면서 측정을 할 수 있고, auto focus기능과 20um이하의 micro spot 으로 정밀한 국소 영역에 대한 측정을 수행 할 수 있습니다. 측정 결과 는 2D/ 3D graphic display로 분석이 가능 하며, CSV, PDF형태의 report로 출력 할 수 있습니다.

응용분야

반도체 공정의 PR / Oxide / Nitride / CMP / SOC /PBO
OLED / LCD / Glass / ITO / TCO
Optical Coating의 Hard coating / ARC / Perylene / Medical Devices

장점

탁상형 / 독립형/ 전자동형 mapping자동 Reflectometer
R-theta/ XYZ motor stage
Z-axis auto-focus기능으로 더욱 정밀한 측정 가능
Digital Camera가 기본 장착 되며, 화면상의 이미지로 측정 지점 을 보면서 박막 측정과 간단한 XY치수 측정 가능
측정 range별 light source lamp option (D2, Visible, NIR)
Laser auto focus/ 20um이하 Micro spot 옵션