KOVIS RSQ 시리즈는 측정 지 점에 대한 mapping 측정 레시피를 쉽게 성하고 자동으로 면저항을 측정할 수 있는 독보적인 접 촉 / 비접촉 면 저항 , 비저항 측정기입니다 . RSQ 3000 모델은 고정밀 4Point Probe 를 이용하여 접촉식 RS 테스트를 수행하며 , 박막의 두께와 전 기적 특성을 측정 평가하여 종합적인 공 정관리를 수행할 수 있는 간단하고 경제적 인 RS 계측장비입니다.

또한 ED 시리즈는 고정밀 Eddy Current Sensor 방식의 비접촉식 RS 계 측장비로 시료 damage 없는 안전한 in situ 측정이 가능합니다 . Stand alone 기본형 장비와 측정 조건을 meet 할 수 있는 다양한 custom desi gn 자동화 옵션이 가능합니다 . 외산 RS maker 와 동급 혹은 진일보한 RS 테스터 기술력으로 RS 장비의 새로운 역사를 열어 가고 있습니다.

RS3000 은 49 points 의 recipe map 을 생성할 수 있으며 자재 loading 에서 측정 unloading 까지 120 초 이내에 측정할 수 있으며 최대 1 225 points 의 측정 points map 을 생성할 수 있으며 측정 결과는 2 D/ 3 D graphic display 로 사용자의 측정 결과 분석을 용이하게 하며 Silicon, EPI, Metal, Ion Implantation, Diffusion 공정 및 그 외 다양한 분야에 활용될 수 있습니다.

· 범위당 : 1MΩ/ ~ 10MΩ/~범위 측정
· 측정능력 : 박막용 3nm 1,500nm
· 300mm WF에 대해 49점 : 최소 60초(최대 1,225점)
· 내부 저항 정확도 : 0.5% 미만(1Ω~1MΩ)
· 반복성 : CV → 0.7% (동일점 10회)
· 용 완전 자동 4PPRS 측정 시스템
· 두께가 600~900um인 12인치 실리콘 웨이퍼
· 테스터 장치와 프로빙 장치의 조합
· 듀얼 모드와 일반 모드 모두 4포인트 프로브 방식으로 고정밀 및 높은 안정성 측정
· 실리콘 웨이퍼, 확산층, 이온 주입층, 에피택셜층, 금속막 등의 공정 평가
· 저항측정단계 료 ((Yetha) 모터단 또는 XY 모터단(스트로크 맞춤설계)
· Windows의 선택적 매핑 측정 소프트웨어
· 두께/ 가장자리/저항률에 대한 온도 보정
· 테스트 패턴 : 사용자 프로그램 가능
· 자체 테스트 기능
· 측정값이 포함된 2D 윤곽선, 3D 그래픽 디스플레이

응용

· 반도체 필름
· 시트, 벌크 저항(저항)
· 실리콘, 폴리실리콘
· 금속 박막
· 투명 필름
· 기타